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附錄G 潔凈室氣密性檢測方法 G.1 原 理 G.1.1 保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求,但條件允許時,負壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負壓檢驗。 G.1.2 可按以下方法進行檢測: 1 壓力衰減法 使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關閉加壓或抽負壓系統,觀察壓力隨時間衰減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時所用的時間,即為測量室內正壓或負壓的半衰期。 2 恒壓法 使室內達到某一正壓,同時向室內補氣,使室壓達到要求的穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓,使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。 G.2 壓力衰減法 G.2.1 測試系統如圖G.2.1所示。 G.2.2 可按以下步驟進...

案例介紹

附錄G 潔凈室氣密性檢測方法

G.1 原 理
G.1.1 保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求,但條件允許時,負壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負壓檢驗。
G.1.2 可按以下方法進行檢測:
1 壓力衰減法
使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關閉加壓或抽負壓系統,觀察壓力隨時間衰減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時所用的時間,即為測量室內正壓或負壓的半衰期。
2 恒壓法
使室內達到某一正壓,同時向室內補氣,使室壓達到要求的穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓,使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。


G.2 壓力衰減法

G.2.1 測試系統如圖G.2.1所示。

G.2.2 可按以下步驟進行檢測
1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定,記錄壓力衰減測試過程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。 
2 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等,關閉回風管(或排風管)上的氣密閥門,不得在風口上加其他密封措施,并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。
3 開啟送風,使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍,最小示值不宜大于10Pa),壓力穩定后,停止送風,關閉送風閥門。
4 或反之關閉送風管上的閥門,如果送風管上無閥或閥不嚴,應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口,開啟排風,使室內壓力下降至已商定的測試壓力,壓力穩定后,停止排風,關閉排風氣密閥門。
5 從停上送(排)風起,記錄壓力隨時間衰減的數據,每1min記錄1次壓差和溫度,連續記錄至室內壓力下降至初始壓力的一半時止。
6 測試結束后慢慢打開風閥,使房間壓力恢復到正常狀態。
7 如果需要進行重復測試,20min后進行。
8 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。
G.2.3 檢測報告應包括以下內容:
1 檢測條件,包括室內溫度等。
2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度;所測潔凈室壓力、溫度的動態變化;檢測持續的時間。
3 檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/2時的時間內壓力衰減率;所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。


G.3 恒 壓 法

G.3.1 測試系統如圖G.3.1所示。

G.3.2 可按以下步驟進行檢測:
1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定,記錄測試過程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。 
2 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等,關閉回風管(或排風管)上的閥門,如果風管上無閥或閥不嚴,應在回風口(或排風口)上用塑料膜加肓板的方法封住風口。
3 開啟送風,使室內壓力上升至500Pa,停止送風,關閉送風閥門。
通過圍護結構上的孔洞和導管,由送風機或空氣壓縮機向室內補氣,通過調節安裝在導管上的調節閥調整補氣流量,以維持潔凈室內的壓力穩定不下降,每隔1min記錄一次補氣管路上浮子流量計讀數,此數即為漏氣量,測試持續的時間宜不超過5min,取平均值。
4 反之關閉送風閥,開啟排風,當室內壓力下降至-500Pa時關閉排風,開啟真空泵保持室內壓力,記錄真空泵抽氣量,此數即漏泄量。
5 測試結束后慢慢打開風閥,使房間壓力恢復到正常狀態。
6 如果需要進行重復測試,20min后進行。
7 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。
G.3.3 檢測報告應包括以下內容:
1 檢測條件,包括室內溫度等。
2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度;室內溫度的動態變化;漏泄量的動態變化。
3 檢測結果包括所測潔凈室5min內的每小時漏泄率;所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。
G.4 安全要求
G.4.1 應制定防范預案。
G.4.2 必須對被檢驗室內的溫度進行監測。
G.4.3 恒壓法測試持續時間不宜太長。

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