附錄G 潔凈室氣密性檢測方法 G.1 原 理 G.1.1 保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求,但條件允許時,負壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負壓檢驗。 G.1.2 可按以下方法進行檢測: 1 壓力衰減法 使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關閉加壓或抽負壓系統,觀察壓力隨時間衰減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時所用的時間,即為測量室內正壓或負壓的半衰期。 2 恒壓法 使室內達到某一正壓,同時向室內補氣,使室壓達到要求的穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓,使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。 G.2 壓力衰減法 G.2.1 測試系統如圖G.2.1所示。 G.2.2 可按以下步驟進...
附錄G 潔凈室氣密性檢測方法
G.1 原 理
G.1.1 保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求,但條件允許時,負壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負壓檢驗。
G.1.2 可按以下方法進行檢測:
1 壓力衰減法
使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關閉加壓或抽負壓系統,觀察壓力隨時間衰減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時所用的時間,即為測量室內正壓或負壓的半衰期。
2 恒壓法
使室內達到某一正壓,同時向室內補氣,使室壓達到要求的穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓,使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。
G.2 壓力衰減法
G.2.1 測試系統如圖G.2.1所示。
G.3 恒 壓 法
G.3.1 測試系統如圖G.3.1所示。