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為了滿足一些對質控要求高的工業車間生產環境，很多企業選擇建設無塵車間。精密制造工業以半導體、晶片、集成電路等制造工藝的需求設置無塵室，業內也叫超凈間。這種無塵車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室，這些制造品類的無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。>>>商務洽談，點此處，在線咨詢

半導體、晶片、集成電路超凈間的建設專業度高且程序復雜，要打造真正意義上滿足標準且適合工藝流程的超凈間包含多種專業維度的建設內容。譬如：建筑構造、內部平面、工藝布置、裝飾裝修、人員和物料凈化、暖通系統建設、自控系統建設、通排風系統建設、氣體供應系統建設、管網建設等。這些內容每一個維度都關系著該車間目標控制標準的達成。那么有人就會問了，這么多內容那得找多少不同技術領域的團隊來建設，在銜接管理上豈不是相當麻煩。沒錯，半導體超凈間涉及的技術領域多，如果甲方一個類別一個類別去尋找、對接、篩選分包商，確實是耗時又耗力。這個時候，選擇與潔凈工程領域的EPC集成服務商合作，這些問題就可以迎刃而解了。CEIDI西遞這類潔凈工程EPC（工程總承包）集成服務商通常會承擔從潔凈工程的整體規劃開始，到內部平面設計、各類技術方案、施工建設及過程監控、實驗家具及內部配套工程一體化的集成服務整體解決方案。

因為電子工業超凈間【集成電路/半導體超凈間】建設環節較為復雜，我們摘出在半導體超凈間建設環節中，暖通系統和氣體供應系統的建設相關內容加以概述。

半導體、晶片、集成電路超凈間暖通系統設計要點：

1.半導體、晶片、集成電路超凈間多以萬級（局部百級）為設計目的。要達到這樣的標準，就必須選擇高效或亞高效過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器，對進入無塵車間的空氣，進行一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。

2.除了考慮潔凈的空氣送風外，還要考慮合理的氣流分布流型。譬如在工作區應避免渦流區就一個盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區;氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。

3.要根據無塵車間的規格大小來選擇合適的送風設備，達到足夠的送風量，以達到可以稀釋空氣的含塵濃度，又能保證有穩定氣流流型的目的。

半導體、晶片、集成電路超凈間供氣系統設計要點：

在工藝技術較為先進的半導體晶圓工廠的制造過程中，工藝步驟達幾百道，前后要使用幾十種不同種類的氣體。CEIDI西遞在設計電子工業超凈間【集成電路/半導體超凈間】過程中會依據行業特色和自身經驗判斷用哪種供氣方式更適合。譬如晶圓半導體超凈車間，會推薦采用外購氣體鋼瓶或鋼瓶組來輸送供氣，有易燃性氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、惰性氣體、氧化性氣體組成的多種類特種氣體需求的，選擇這種方式會節省投資，且擁有使用方式靈活的優點，電耗及制氣成本相對也比較低廉。缺點是在氣體輸送的過程中氣體比較容易受到污染，對后期就整個供應系統的管理和維護要求較高。不過這對合作方是CEIDI西遞這類總包服務商來說，基本上后續維護質量等問題無需擔憂。

在半導體、晶片、集成電路這類電子工業超凈間建設過程中，因為工藝復雜對環境要求高。要在一定空間內清除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，控制室內溫度、清潔度、室內壓力、氣流速度和氣流分布，將噪聲振動和照明、靜電控制在一定需求范圍內，需要平面設計師和各技術段工程師非常精密的計算與合作，CEIDI西遞EPC集成服務商的集成服務優勢在這里可以比較明顯的體現出來。設計團隊、技術團隊和項目施工團隊已經過多年磨合，對工程建設的理念和進度配合都達成比較一致的思維，往往能在保質保量地完成工程建設的同時，將節能與實用性做充分的融合。

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